[发明专利]具有对角馈线的改善的金属上金属电容器

摘要

本发明描述一种用于改善的金属上金属电容器设计的设计。所述设计包括位于每一个金属层中的基本上对角的馈线(411，412，413)。每一个金属层(21，22，23)包括相互交织的两组金属指状物。每一组指状物包括指状物的两个子集并且所述指状物的子集设置成彼此成直角。位于两组中的第一组中的指状物全部连接到所述对角馈线，而位于另一组中的指状物经由位于所述设备的外围处的指状物连接到一起。在相邻层中重复所述设计，其中在相邻金属层之间所述设计可以相同或者旋转(例如180°)。

主权项

一种包括多个金属层的金属上金属电容器单元设计，每一个金属层包括一设计，该设计包括：两组相互交叉的指状物，其中每一组指状物包括指状物的第一子集和指状物的第二子集，并且其中所述第一子集中的指状物基本上垂直于所述第二子集中的指状物；以及所述第一组指状物所连接到的成角度的馈线。