[发明专利]图像形成用下层膜有效

专利信息
申请号: 200980141975.3 申请日: 2009-10-21
公开(公告)号: CN102197489A 公开(公告)日: 2011-09-21
发明(设计)人: 前田真一;小野豪;南悟志 申请(专利权)人: 日产化学工业株式会社
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;C08G73/10;G03F7/004;H01L21/288;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/336;H01L51/05;H01L51/30
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 段承恩;陈海红
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种图像形成用下层膜,其特征在于,其含有下述聚酰亚胺前体或该聚酰亚胺前体脱水闭环获得的聚酰亚胺,所述聚酰亚胺前体含有下述式(1)所示的重复结构。(式中,A表示4价的有机基团,B表示下述式(2)或者(3)所示的2价的有机基。)
搜索关键词: 图像 形成 下层
【主权项】:
1.一种图像形成用下层膜,其特征在于,含有包含下述式(1)所示的重复结构的聚酰亚胺前体或该聚酰亚胺前体脱水闭环获得的聚酰亚胺,式中,A表示4价的有机基团,B表示下述式(2)或式(3)所示的2价的结构,R1、R2分别独立地表示氢原子或1价的有机基团,n表示自然数,式中,X表示单键或碳原子数6~20的2价的芳香族基,Y表示单键、-O-、-COO-、-OCO-、-CONH-、-CH2O-、-CH2COO-或-CH2CH2COO-,Z表示可以被氟原子取代的碳原子数3~26的脂肪族烃基,R分别独立地表示氟原子、碳原子数1~3的烷氧基或碳原子数1~3的烷基,t表示0~3的整数。
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