[发明专利]光致电压元件及其制造方法

摘要

跨越玻璃基板(110)的一表面的成对的背面电极层(120)，以黄铜矿结构的化合物在具有导电性的p型光吸收层(130)上、层叠形成与光吸收层(130)pn接合的透光性的n型缓冲层(140)。与缓冲层(140)层叠的同时，从光吸收层(130)和缓冲层(140)的一侧跨过背面电极层(120)的一方设置具有透光性的透明电极层(160)。透明电极层(160)以氧化铟和氧化锌为主要成分，形成膜应力为±1×109Pa以下的非晶体薄膜。即使以加工简单的机械刻线也不产生龟裂或缺失等不良情况地进行良好地加工、提高制造性和产率。

主权项

一种光致电压元件，其特征在于，包括：玻璃基板；设于该玻璃基板的一表面的成对的背面电极层；由黄铜矿结构的化合物构成且跨越所述成对的背面电极层层叠而形成的、具有导电性的p型的光吸收层；层叠形成于该光吸收层并与所述光吸收层pn接合的、透光性的n型的缓冲层；和层叠于该缓冲层且从所述层叠的光吸收层和缓冲层的一侧一直设置到到所述背面电极中的一个背面电极的、透光性的透明电极层，所述透明电极层形成为膜应力为±1×109Pa以下。