[发明专利]被抽真空的装置和扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 200980142967.0 | 申请日： | 2009-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN102197301A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | D·沙哈尔;R·德皮乔托 | 申请（专利权）人： | B-纳诺有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;蹇炜 |
| 地址： | 以色*** | 国省代码： | 以色列;IL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种被抽真空的装置，包括：密封外壳、电子束源、电子光学部件、薄膜、以及检测器。所述薄膜密封所述密封外壳的孔隙。所述密封外壳限定其中保持真空的被抽真空的空间。所述电子束源配置为生成电子束，所述电子束在所述被抽真空的空间内传播、与所述电子光学部件相互作用、并通过所述薄膜。所述密封外壳的第一部分成形为配合由保持在不被抽真空的环境中的不被抽真空的扫描电子显微镜部件限定的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种被抽真空的装置，包括：密封外壳，电子束源，电子光学部件，薄膜，以及检测器；其中，所述薄膜密封所述密封外壳的孔隙；其中，所述密封外壳限定其中保持真空的被抽真空的空间；其中，所述电子束源配置为生成电子束，所述电子束在所述被抽真空的空间内传播、与所述电子光学部件相互作用、并通过所述薄膜；其中，所述密封外壳的第一部分成形为配合由保持在不被抽真空的环境中的不被抽真空的扫描电子显微镜部件限定的空间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于B-纳诺有限公司，未经B-纳诺有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980142967.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：利用多种群变换产生电路图案
- 下一篇：复合球特殊加工工艺
