[发明专利]加速度传感器无效
| 申请号： | 200980145175.9 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102216789A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 绀野伸显 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;H01L29/84 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 加速度传感器具备基板(1)和被基板(1)支承的多个加速度检测部(10)。多个加速度检测部(10)分别具有：扭转梁(11、12)，被基板(1)支承且以扭转轴线(T1、T2)为中心扭转；检测框(21、22)，以能够以扭转轴线(T1、T2)为中心进行旋转的方式被扭转梁(11、12)支承；检测电极(40)，以与检测框(21、22)相向的方式形成在基板(1)上；链接梁(31、32)，当俯视时在从扭转轴线(T1、T2)偏离了的轴线上的位置处被检测框(21、22)支承；和惯性质量体(2)，以能够在基板(1)的厚度方向上移位的方式被链接梁(31、32)支承。多个加速度检测部(10)包括第一和第二加速度检测部(10)。第一和第二加速度检测部(10)沿第一扭转轴线(T1)方向排列配置。由此能够得到对高频高加速度的振动进行抑制的高精确度的加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种加速度传感器，具备：基板(1)；以及多个加速度检测部(10)，被所述基板(1)支承，所述多个加速度检测部(10)分别具有：扭转梁(11、12)，被所述基板(1)支承，并且以扭转轴线(T1、T2)为中心而扭转；检测框(21、22)，以能够以所述扭转轴线(T1、T2)为中心进行旋转的方式被所述扭转梁(11、12)支承；检测电极(40)，以与所述检测框(21、22)相向的方式形成在所述基板(1)上；链接梁(31、32)，当俯视时在从所述扭转轴线(T1、T2)偏离了的轴线上的位置处被所述检测框(21、22)支承；以及惯性质量体(2)，以能够在所述基板(1)的厚度方向上移位的方式被所述链接梁(31、32)支承，所述多个加速度检测部(10)包括第一和第二加速度检测部(10)，所述第一和第二加速度检测部(10)沿着所述第一加速度检测部(10)的所述扭转轴线(T1)方向排列配置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱电机株式会社，未经三菱电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980145175.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
