[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 200980148107.8 | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102227289A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 福田武司;石坂信吉 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;樊卫民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供研磨速度大、并且至研磨速度稳定为止的时间短、进而厚度精度优良的研磨垫。一种研磨垫，在基材层上设置有研磨层，其特征在于，所述研磨层由具有平均气泡直径为35～200μm的近似球形的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成，所述研磨层，40℃下的储能弹性模量E’(40℃)为130～400MPa，30℃下的储能弹性模量E’(30℃)与60℃下的储能弹性模量E’(60℃)之比[E’(30℃)/E’(60℃)]为1以上且小于2.5，并且30℃下的储能弹性模量E’(30℃)与90℃下的储能弹性模量E’(90℃)之比[E’(30℃)/E’(90℃)]为15～130。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，在基材层上设置有研磨层，其特征在于，所述研磨层由具有平均气泡直径为35～200μm的近似球形的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成，所述研磨层，40℃下的储能弹性模量E’(40℃)为130～400MPa，30℃下的储能弹性模量E’(30℃)与60℃下的储能弹性模量E’(60℃)之比即E’(30℃)/E’(60℃)为1以上且小于2.5，并且30℃下的储能弹性模量E’(30℃)与90℃下的储能弹性模量E’(90℃)之比即E’(30℃)/E’(90℃)为15～130。
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