[发明专利]多光束曝光扫描方法和设备,以及用于制造印刷版的方法有效
| 申请号： | 200980149031.0 | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102239450A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 宫川一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B41C1/05;G03F7/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陆锦华;刘光明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在一种多光束曝光扫描方法中，当作为将利用单个光束照射的对象物上的区域的照射区域被曝光时，基于待被曝光的该照射区域附近的另一照射区域的曝光状态来控制光束的光量。当待被曝光的照射区域的周边附近的另一照射区域尚未被曝光时，利用具有第一光量的光束照射该照射区域。当另一照射区域已经被曝光时，利用具有小于第一光量的第二光量的光束照射该照射区域。因此，能够有效地减轻由于相邻光束导致的热的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 曝光 扫描 方法 设备 以及 用于 制造 印刷 | ||
【主权项】：
一种用于利用多个光束来扫描对象物以雕刻所述对象物的表面的多光束曝光扫描方法，包括：当第一照射区域的周边附近的第二照射区域尚未被曝光时，利用具有第一光量的光束照射待被曝光的所述第一照射区域；和当所述第二照射区域已经被曝光时，利用具有小于所述第一光量的第二光量的光束照射待被曝光的所述第一照射区域。
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