[发明专利]具有SLID粘结连接的两个衬底的装置和用于制造这种装置的方法无效
申请号: | 200980149068.3 | 申请日: | 2009-10-19 |
公开(公告)号: | CN102245498A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | A.特劳特曼;A.法伊 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李永波;梁冰 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种具有第一(5)和第二衬底(10)的装置(1),其中两个衬底(5,10)借助于SLID(固液相互扩散)粘结连接(15)相互连接。SLID粘结连接(15)包括第一金属材料和第二金属材料,其中SLID粘结连接(15)包括金属间Al/Sn相(15c)。本发明此外还涉及一种用于制造这种装置(1)的方法。 | ||
搜索关键词: | 具有 slid 粘结 连接 两个 衬底 装置 用于 制造 这种 方法 | ||
【主权项】:
一种具有借助于SLID(固液相互扩散)粘结连接(15)相互连接的第一(5)和第二衬底(10)的装置(1),其中SLID粘结连接(15)包括第一金属材料和第二金属材料,其特征在于,SLID粘结连接(15)包括金属间Al/Sn相(15c)。
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