[发明专利]用于真空物理蒸汽沉积的室护罩

摘要

一种物理蒸汽沉积设备，包括具有侧壁的真空室、阴极、射频电源、基底支架和阳极以及护罩。阴极位于真空室的内部并被构造为包括靶体。射频电源被构造成向阴极施加功率。基底支架位于真空室的内部并与真空室的侧壁电绝缘。阳极位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁。护罩位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁，且包括环状体和从环状体延伸的多个同心环状凸起。

主权项

一种物理蒸汽沉积设备，包括：真空室，所述真空室具有侧壁；阴极，所述阴极位于所述真空室内部，其中所述阴极构造为包括溅射靶体；射频电源，所述射频电源被构造为向阴极施加功率；基底支架，所述基底支架位于真空室的内部并与真空室的侧壁电绝缘；阳极，所述阳极位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁；和护罩，所述护罩位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁，其中所述护罩包括环状体和从环状体延伸的多个同心环状凸起。