[发明专利]具有顺服涂层的静电夹盘无效
| 申请号： | 200980149401.0 | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102246288A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 阿施文·普鲁黑特;威廉·D·李;马文·拉封丹;理查德·泽祖特 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李敬文 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明针对静电夹盘(ESC)，其具有以 |
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| 搜索关键词： | 具有 顺服 涂层 静电 | ||
【主权项】：
一种静电夹盘，用于夹箝基板和控制相关联的热传递，该静电夹盘包括：陶瓷元件，包括陶瓷表面；以及顺服层，包括低摩擦表面，所述低摩擦表面覆盖陶瓷表面并提供用于夹箝基板的夹箝表面。
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