[发明专利]研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法有效
| 申请号： | 200980149953.1 | 申请日： | 2009-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102245350A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 秋山秀;铃木健司;齐藤勋;关昌雄 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10;B24B37/04;B24B49/18;B24B53/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向所述研磨工具与所述被研磨物之间供给研磨液一边利用所述研磨工具研磨所述被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：AE传感器，安装在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上；异常检测部，基于来自所述被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从所述AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及警告单元，当由所述异常检测部检测到所述被研磨物的异常时发出警告。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 以及 玻璃板 制造 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向研磨工具与被研磨物之间供给研磨液一边利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：AE传感器，安装在支承研磨工具或被研磨物的板上；异常检测部，基于来自被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及警告单元，当由所述异常检测部检测到被研磨物的异常时发出警告。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭硝子株式会社，未经旭硝子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980149953.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：甘油处理方法
- 下一篇：视频信号传输装置、传输系统的识别信息获取方法
