[发明专利]膜去除方法、光电转换装置的制造方法、光电转换装置及膜去除装置无效
| 申请号： | 200980150541.X | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN102245344A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 丰川雅博;立花伸介 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/00;B23K26/03;H01L21/027;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;张浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了将基板(2)上形成的膜(3)分离为多个区域，将第1光束向膜(3)照射。通过将在多个区域之间残留有膜(3)的去除不良部位(DP)的膜(3)去除来进行修补(RP1)。由此，可提供能够以高的成品率将膜分离为多个区域的膜去除方法、利用该方法的光电转换装置(1)的制造方法以及膜去除装置(60)。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 方法 光电 转换 装置 制造 | ||
【主权项】：
一种膜去除方法，其特征在于，具有：为了将基板(2)上形成的膜(3)分离为多个区域，将第1光束向所述膜照射的工序；和通过将在所述多个区域之间残留有所述膜的去除不良部位(DP)的所述膜去除来进行修补(RP1)的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于夏普株式会社，未经夏普株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980150541.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
