[发明专利]钝化膜形成用成膜装置和成膜方法、以及太阳能电池元件的制造方法

摘要

本发明的课题在于，提供一种形成钝化膜的成膜方法和成膜装置、以及使用它的太阳能电池元件的制造方法，所述钝化膜能够充分抑制载流子的再结合所造成的损失。具备：载置部(22)，载置成膜对象；高频电源(25)；以及喷板(23)，设置成与载置在载置部(22)的成膜对象(S)相对，导入成膜气体并且连接高频电源来施加高频率的电压，其中，在喷板或者基板载置部上连接了施加低频率的电压的低频电源(26)。使用该成膜装置来实施成膜方法，在形成钝化膜时实施该成膜方法。

主权项

一种钝化膜形成用成膜装置，其特征在于，具备：载置部，载置成膜对象；高频电源；以及喷板，设置成与载置在所述载置部的成膜对象相对，导入成膜气体并且连接所述高频电源来施加高频率的电压，其中，对所述喷板或者所述载置部连接了施加低频率的电压的低频电源。