[发明专利]向心泵级和包含该泵级的真空泵

摘要

本发明涉及向心泵级和包含该泵级的真空泵。一种分子螺旋型真空泵级包括其具有光滑表面并与定子体合作的转子盘。所述定子体至少在面对所述转子盘的表面上具有多个螺旋通道，其中，将被泵送的气体沿向心方向流动。从定子体的中心向外周，通道的横截面积(σ)减小。由于这样的结构，可以避免沿泵级内部气体流速的减小以及相关的内部压缩或再膨胀的风险，这限制了功率损耗。本发明还涉及包含至少一个如上所述的泵级的真空泵。

主权项

一种分子螺旋真空泵级，包括：转子盘(7)，其具有光滑表面并与定子体(1；11；21)合作；所述定子体(1；11；21)，其至少在面对所述转子盘的表面上具有至少一个螺旋通道；具有横截面积(σ)的所述至少一个螺旋通道，其包括：入口(6)，其处于所述定子体的外周或该外周附近，用于所要泵送的气体，以及出口(8)，其处于所述定子体的中心或该中心附近，用于所述气体，使得所述气体沿向心方向流动通过所述至少一个通道；其中，所述至少一个通道的所述横截面积(σ)从所述定子体(1；11；21)的中心向着外周减小。