[发明专利]钌化合物、其制造方法、使用其制造含钌薄膜的方法、以及含钌薄膜无效
| 申请号： | 200980152740.4 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102264754A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 古川泰志;大岛宪昭;河野和久;千叶洋一 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C07F17/02 | 分类号： | C07F17/02;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孔宪静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种(2，4-二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌，即使该化合物含有类似化合物时也可由其制造含钌薄膜；制造该含钌化合物的方法；使用所述化合物制造含钌薄膜的方法；以及含钌薄膜。从含有所述类似化合物的(2，4-二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌分离出该类似化合物，由此得到所述(2，4-二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌，其中该类似化合物的含量为5重量％以下。该含钌化合物用作制备薄膜的原料。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 制造 方法 使用 薄膜 以及 | ||
【主权项】：
一种(2，4 二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌，其含有5重量％或更少量的一种或多种(2，4 二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌类似结构化合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东曹株式会社，未经东曹株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980152740.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：拔桩装置
- 下一篇：一种硬脂酸锌熔融法生产工艺及其硬脂酸锌反应釜
