[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即在ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点(P1)，在X轴方向上收束在点(P2)。由此，激光(L1)的剖面形状，在点(P1)成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点(P2)成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过使点(P1)位于加工对象物(S)的外部，使点(P2)位于加工对象物(S)的内部，从而在加工对象物(S)的内部的点(P2)所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，具备：激光光源，射出激光；支撑台，支撑对所述激光具有透过性的加工对象物；第1光学系统，具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能，使从所述激光光源射出的所述激光在所述规定的方向上发散或收束；第2光学系统，具有使平行光收束在光轴上的一点的功能，使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴垂直的第1方向上收束在第1点，使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴以及所述第1方向垂直的第2方向上收束在第2点；第1移动机构，使所述第1光学系统相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动；以及第2移动机构，使所述支撑台相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动，利用所述第1移动机构以及所述第2移动机构，使所述第1点位于所述加工对象物的外部，使所述第2点位于所述加工对象物的外表面或内部，对所述加工对象物照射所述激光。