[发明专利]试验玻片更换系统无效
| 申请号： | 200980153904.5 | 申请日： | 2009-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN102272348A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | M·谢勒 | 申请（专利权）人： | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 胡强 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在真空涂覆设备(3)的涂覆室(1)内选择性涂覆和光学检测试验玻片(24，24″)的试验玻片更换系统(10)。在该涂覆室内，借助活动的转台(2)使基片(7)位于涂覆材料流所经过的路径上。该试验玻片更换系统(10)具有试验玻片保持座(8，8″)，该试验玻片保持座包括用于接纳试验玻片(24，24″)的玻璃试板(26)和用于选择性覆盖玻璃试板(26)的盖子(28，28″)。试验玻片更换系统(10)还具有用于使玻璃试板(26)绕近似平行于转台(2)的转动轴线(5)取向的轴线(51)转动的转动装置(34)。试验玻片保持座(8，8″)能作为一个单元定位在转台(2)上并能从该涂覆室(1)被取出。 | ||
| 搜索关键词： | 试验 更换 系统 | ||
【主权项】：
一种用于在真空涂覆设备(3)的涂覆室(1)内选择性涂覆和光学检测试验玻片(24，24″)的试验玻片更换系统(10，10″)，在该涂覆室内设有用于引导至少一个基片(7)布置在涂覆材料流所穿过的路径上的转台(2)，其中该试验玻片更换系统(10，10″)具有试验玻片保持座(8，8″)，该试验玻片保持座包括用于接纳试验玻片(24，24″)的玻璃试板(26)和用于选择性覆盖该玻璃试板(26)的盖子(28，28″)，该试验玻片更换系统(10)具有用于使该玻璃试板(26)绕近似平行于该转台(2)的转动轴线(5)取向的轴线(5′)转动的转动装置(9)，其中，该试验玻片保持座(8，8″)作为一个单元能定位在该转台(2)上并且能从该涂覆室(1)被取出。
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