[发明专利]液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的信号处理方法

摘要

为了降低计算正常值时从附近像素的缺陷强度受到的影响，对于各像素，在其检测强度处于基于面板假设出的水平范围内时使用附近像素的检测强度来计算该像素的正常值，而在其检测强度超出了基于面板假设出的水平范围的情况下，为了避免受到附近像素的缺陷强度的影响，不计算该像素的正常值，而将基于相邻的像素设定出的正常值设定为该像素的正常值。使用面板的标准偏差来判断检测强度是否处于基于面板假设出的水平范围内。由此，在确定灰度的正常值的计算中，在抑制检测强度所包含的波动导致的变动的同时，降低附近像素的缺陷强度对正常值造成的影响，从而基于检测强度计算出适当的正常值。

主权项

一种液晶阵列检查装置的信号处理方法，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，检测对上述液晶基板照射电子射线而得到的二次电子，根据上述二次电子的检测强度来对液晶基板的阵列进行检查，该方法的特征在于，包括以下步骤：灰度设定步骤，将正常驱动状态下的像素的检测强度设为正常值，将非驱动状态下的像素的检测强度设为基准值，从而设定像素的检测强度的灰度；灰度值计算步骤，按照上述灰度来计算与从各像素检测出的检测强度相对应的灰度值；以及缺陷判断步骤，通过将上述灰度值与阈值进行比较来进行缺陷判断，其中，上述灰度设定步骤包括计算上述正常值的正常值计算步骤，上述正常值计算步骤包括以下步骤：计算包含所有像素的整个面板的平均值和标准偏差；将各像素的检测强度与正常范围进行比较，该正常范围是根据上述平均值和上述标准偏差而确定的；在各像素的检测强度处于上述正常范围内时，将通过对该像素附近的多个像素的检测强度进行移动平均处理后得到的计算值设为该像素的正常值；以及在各像素的检测强度处于上述正常范围外时，将基于相邻的像素所算出的正常值设为该像素的正常值。