[发明专利]分析包含杂质的组合物的方法无效
| 申请号： | 200980154779.X | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102282104A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 约翰·哈德;罗恩·霍姆斯;卡尔·普尔 | 申请（专利权）人： | 赫姆洛克半导体公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;G01N1/22;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 武晶晶;郑霞 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了分析组合物的方法和处理组合物的方法。该组合物包含杂质且具有低于环境温度的沸点和/或在14.5℃具有高于水的蒸气压。分析组合物的方法包括在容器中提供液态的组合物的步骤。在低于组合物的沸点的温度冷却容器中的液态的组合物，由此维持组合物在液态。将容器中的冷却的组合物转变以产生汽化的组合物和雾化的组合物中的至少一种，将该转变的组合物引入分析装置。从分析装置获得组合物的杂质含量的测量结果。处理组合物的方法包括与分析组合物的方法相同的步骤，但是进一步要求组合物的至少一部分保留在供应槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 包含 杂质 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种分析包含杂质且具有低于环境温度的沸点和/或在14.5℃具有高于水的蒸气压的组合物的方法，所述方法包括以下步骤：提供容器中的液态的所述组合物；在低于所述组合物的沸点的温度冷却所述容器中的液态的所述组合物；将所述容器中的冷却的组合物转变成汽化的组合物和雾化的组合物中的至少一种；将转变的组合物引入分析装置；以及从所述分析装置获得所述组合物中所述杂质含量的测量结果。
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