[发明专利]卷到卷数字光刻法有效
| 申请号： | 200980155696.2 | 申请日： | 2009-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102301280A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·A·哈斯;杰弗里·H·托奇;丹尼尔·J·泰斯;布赖恩·K·纳尔逊 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 制造柔性电路膜的方法包括提供一种柔性基材，其具有多个对准标记和感光材料。所述基材绕过合适的转轮、带或其它非弹性输送器，使得所述基材和所述输送器至少从第一位置一起移动到第二位置。当所述基材的第一部分在所述第一位置时，测量在所述基材的第一部分上的第一组所述对准标记的位置；并且测量位置能够用于计算基材的形变。当所述基材的第一部分移动到所述第二位置时，然后按图案曝光在所述基材的第一部分上的感光材料。所述按图案曝光基于第一组对准标记的测量位置，并可包括用形变修正图案来曝光幅材。还公开了相关的系统和制品。 | ||
| 搜索关键词： | 卷到卷 数字 光刻 | ||
【主权项】：
一种制造柔性电路膜的方法，包括：提供柔性基材，所述柔性基材上具有多个对准标记和感光材料；将所述基材绕过非弹性输送器，使得所述基材和所述输送器至少从第一输送位置一起移动到第二输送位置；当所述基材的第一部分在所述第一输送位置时，测量在所述基材的第一部分上的第一组对准标记的位置；当所述基材的第一部分移动到所述第二输送位置时，按图案曝光在所述基材的第一部分上的感光材料，所述按图案曝光基于对所述位置的测量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于3M创新有限公司，未经3M创新有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980155696.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
