[发明专利]基材反转系统无效

专利信息
申请号: 200980157596.3 申请日: 2009-05-25
公开(公告)号: CN102325709A 公开(公告)日: 2012-01-18
发明(设计)人: A·巴希尼;M·佳利亚佐 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06;H01L21/677;H05K13/04;H01L31/18
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉;张欣
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供一种用于进行高速基材反转以促进任一基材表面的光电制造处理的方法和设备,包含两个堆迭的输送器,所述两个堆迭的输送器协力地旋转且经定位以同时啮合一基材的两个表面,以使得能够装载、反转及分配沿着一自动化生产系统的基材生产流程平面行进的基材,并可进一步用于持续移除因接触基材表面而聚集在输送带上的处理和环境残渣,并促进直接将处理和环境残渣清洁出基材表面。
搜索关键词: 基材 反转 系统
【主权项】:
一种用于反转基材的设备,包括:第一输送器组件,具有第一支承表面和安置于该第一支承表面上的第一输送带;第二输送器组件,具有第二支承表面和安置于该第二支承表面上的第二输送带,其中所述第一支承表面相邻定位于所述第二支承表面上方以形成间隙;至少一个第一致动器,耦接至所述第一输送带,以使得所述第一输送带可相对于所述第一支承表面定位;至少一个第二致动器,耦接至所述第二输送带,以使得所述第二输送带可相对于所述第二支承表面定位;及反转致动器,耦接至所述第一输送器组件和所述第二输送器组件,且适于以面朝上或面朝下方向来定向所述第一输送器组件中的所述第一支承表面和所述第二输送器组件中的所述第二支承表面。
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