[发明专利]流体控制装置

摘要

本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。

主权项

一种流体控制装置，具有流体控制部和流体导入部，其中，所述流体控制部是将以一个流量控制器作为基本构成要素且分别具有一个入口以及一个出口的1列流体控制管线配置M列而构成的；所述流体导入部是通过多个开闭阀以入口数为N且出口数为M的方式而构成的，其中N＞M，流体导入部的M个出口和流体控制部的M个入口分别以1∶1的比例连接，其特征在于：流体导入部被分成：入口侧阻断开放部，该入口侧阻断开放部由多个开闭阀构成，并配置在入口侧，其入口的总数为N个、出口的总数为K个；流体控制部侧阻断开放部，该流体控制部侧阻断开放部由多个开闭阀构成，配置在入口侧阻断开放部和流体控制部之间，其入口的总数为K个、出口的总数为M个，并且，入口侧阻断开放部被分成分别具有2个以上的所希望数量的开闭阀的多组。