[发明专利]压印用模具及其制造方法有效
| 申请号： | 200980159699.3 | 申请日： | 2009-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102458800A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 仲野真一;河原伸一郎;松井真二;冈田真 | 申请（专利权）人： | 新田股份有限公司;兵库县 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;B29C33/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印用模具，其具备在表面上具有微小图案的表面层和支承该表面层的与所述表面相反的背面的支承层，所述表面层含侧链结晶性聚合物。还提供一种压印用模具的制造方法，其包括在支承层上层叠含侧链结晶性聚合物的表面层的工序；利用具有微小图案的主模，在所述侧链结晶性聚合物的熔点以上的温度下，对该表面层的表面进行加压的工序；随后使所述表面层的温度成为低于侧链结晶性聚合物的熔点的温度，从所述表面层的表面剥离主模，将主模的所述微小图案转印至表面层的表面的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压印用模具，其具备在表面上具有微小图案的表面层和支承该表面层的与所述表面相反的背面的支承层，所述表面层含有侧链结晶性聚合物。
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