[发明专利]加工工艺、电压、以及温度传感器

摘要

一种集成电路，包括加工工艺传感器、温度传感器以及电压传感器。该加工工艺传感器被配置为感测表示用来形成所述集成电路的半导体加工工艺的加工工艺参数，并且基于该感测的加工工艺参数，提供该半导体加工工艺的表征到该加工工艺传感器的输出端。温度传感器被配置为提供集成电路的温度的表示到温度传感器的输出端而电压传感器被配置为提供集成电路的电源电压电平到电压传感器的输出端。该加工工艺传感器的输出端连接到该温度传感器和电压传感器中的至少之一，以便补偿温度的表示以及电源电压电平的表示中的至少之一。

主权项

一种集成电路，包括：加工工艺传感器，配置为感测表示用来形成所述集成电路的半导体加工工艺的加工工艺参数，并基于该加工工艺参数将半导体加工工艺的表征提供到所述加工工艺传感器的输出端；温度传感器，配置为提供集成电路的温度的指示到所述温度传感器的输出端；以及电压传感器，配置为提供集成电路的电源电压电平的指示到所述电压传感器的输出端；其中所述加工工艺传感器的输出端电连接到温度传感器和电压传感器中的至少一个，以便响应于所述半导体加工工艺的表征，补偿所述温度的指示和电源电压电平的指示中的至少之一。