[发明专利]金属有机化学汽相淀积设备及其温度控制方法

摘要

本发明提供一种金属有机化学汽相淀积设备及其温度控制方法。该设备包括：腔室；安装在腔室内侧并能旋转的衬托器，其中，将至少一个衬底设置于衬托器上；加热衬托器的多个加热器，其温度被独立控制；气体喷射器，位于衬托器上部且朝向衬托器喷射III族气体和V族气体；多个温度探测传感器，其位于衬托器的上部，并测量通过各加热器加热的加热区的温度；和控制器，其存储加热区所需的温度设定值，并通过将由各温度探测传感器探测到的探测温度值与加热区所需的设定值相比较来控制加热区的温度。通过有效地调节金属有机化学汽相淀积设备中的每一外延工艺所必需的温度条件，可以在整个工艺期间均匀地向整个衬底实施温度倾斜，其通过将温度从室温上升至1200℃来执行工艺。因此提高了工艺效率和淀积均匀度。

主权项

一种金属有机化学汽相淀积设备，包括：腔室；衬托器，可旋转地安装于该腔室内并被构造成具有至少一个固定于其中的衬底；多个加热器，被构造成加热所述衬托器并使它们的温度被单独控制；气体喷射器，放置于所述衬托器之上且被构造成朝向衬托器喷射III族气体和V族气体；多个温度探测传感器，放置于所述衬托器的一侧，并被构造成测量通过各加热器加热的加热区的温度；和控制器，被构造成存储各个加热区所需的温度设定值，并通过将由各温度探测传感器探测到的探测温度值与加热区所需的各温度设定值相比较来控制加热区的温度。