[发明专利]防蚀装置、防蚀方法以及线电极放电加工装置

摘要

一种防蚀装置，其具有：纯水化单元（9），其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成；防蚀单元（8），其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成；导电率测量单元（7），其用于对加工液的导电率的实际测量值进行测量；以及控制单元（10、11、12），其根据该导电率测量单元（7），对将加工液向所述纯水化单元（9）、防蚀单元（8）的通入进行控制，在该防蚀装置中，所述控制单元根据预先设定的第1及第2导电率、和由所述导电率测量单元（7）测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第1导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入，如果所述实际测量值达到第1导电率，则停止向所述纯水化单元（9）通入，仅向所述防蚀单元（8）通入，如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化单元（9）通入，向所述纯水化单元（9）以及防蚀单元（8）通入。

主权项

一种防蚀装置，其具有：纯水化单元，其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成；防蚀单元，其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成；导电率测量单元，其用于对加工液的导电率的实际测量值进行测量；以及控制单元，其根据该导电率测量单元，对将加工液向所述纯水化单元、防蚀单元的通入进行控制，该防蚀装置的特征在于，所述控制单元根据预先设定的第1及第2导电率、和由所述导电率测量单元测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第1导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入，如果所述实际测量值达到第1导电率，则停止向所述纯水化单元通入，仅向所述防蚀单元通入，如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化单元通入，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入。