[发明专利]基板内部缺陷检查装置及方法

摘要

本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源，以及一取像模块，光源设在基板的一侧面并朝该侧面发射一对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度为限制在一第一预定角度内，取像模块设于基板的上方。该方法包括：首先提供至少一光源在一基板的一侧面，并使该光源朝该侧面发射一穿透该基板的光线。并且提供一取像模块，撷取该基板的上表面的影像，其中需使该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内以全反射传递的一第一预定角度内。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。采用上述装置及方法可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。

主权项

一种基板内部缺陷检查方法，用以对一基板进行内部缺陷检查，该基板具有一上表面，以及连接该上表面的多个侧面，其特征在于，该基板内部缺陷检查方法包含：提供至少一光源，设在该基板的其中一侧面处，并使该光源朝该侧面发射一对应穿透该基板的光线；以及提供一取像模块，设于该基板的上方，并撷取该基板的上表面的影像，其中，使该光线相对该侧面的入射角度为限制在一使该光线在该基板内以全反射的方式进行传递的一第一预定角度内。