[发明专利]芯片封装凸块结构及其实现方法无效
申请号: | 201010003026.3 | 申请日: | 2010-01-01 |
公开(公告)号: | CN101764116A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 陈栋;赖志明;陈锦辉;张黎 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485;H01L21/48 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种芯片封装凸块结构及其实现方法,所述凸块结构包括芯片本体(1)、芯片电极(2)、芯片表面保护层(3)、种子层(4)、化学镀层(5)、过渡层(6)和焊球(7),所述芯片电极(2)嵌置于芯片本体(1)上,芯片表面保护层(3)复合在芯片本体(1)表面及芯片电极(2)外周边的表面,而芯片电极(2)表面的部分区域则露出芯片表面保护层(3),种子层(4)复合在芯片电极(2)表面露出芯片表面保护层(3)的区域及与芯片电极(2)表面露出芯片表面保护层(3)的接合位置处的芯片表面保护层(3)表面,化学镀层(5)复合在种子层(4)的表面,过渡层(6)复合在化学镀层(5)的表面。本发明芯片封装凸块结构具有封装设计灵活性和高可靠性的特点;其实现方法具有工艺简单、低成本的特点。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 及其 实现 方法 | ||
【主权项】:
一种芯片封装凸块结构,其特征在于所述凸块结构包括芯片本体(1)、芯片电极(2)、芯片表面保护层(3)、种子层(4)、化学镀层(5)、过渡层(6)和焊球(7),所述芯片电极(2)嵌置于芯片本体(1)上,芯片表面保护层(3)复合在芯片本体(1)表面及芯片电极(2)外周边的表面,而芯片电极(2)表面的部分区域则露出芯片表面保护层(3),种子层(4)复合在所述芯片电极(2)表面露出芯片表面保护层(3)的区域及与芯片电极(2)表面露出芯片表面保护层(3)的接合位置处的芯片表面保护层(3)的表面,化学镀层(5)复合在种子层(4)的表面,过渡层(6)复合在化学镀层(5)的表面;或者所述过渡层(6)不存在,此时所述焊球(7)直接设置于化学镀层(5)的表面。
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