[发明专利]感光性树脂组合物和图案形成方法有效
| 申请号： | 201010003193.8 | 申请日： | 2010-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101794073A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 能谷敦子;远山宜亮 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(日本)株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种感光性树脂组合物，其在进行狭缝涂敷后，在不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行自然干燥的情况下，干燥时间短、没有涂敷不匀、涂敷膜厚均一，曝光、显影后的抗蚀图案的形状良好。作为感光性树脂组合物，采用含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂、以及丙二醇单甲醚乙酸酯(A)与沸点为145℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为50以上的溶剂(B)的混合溶剂的感光性树脂组合物，将其通过狭缝涂敷法涂敷于基板上，不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行干燥，然后进行曝光、显影，形成抗蚀图案。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其特征在于，在含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂和溶剂的感光性树脂组合物中，上述溶剂由丙二醇单甲醚乙酸酯(A)与沸点为145℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为50以上的溶剂(B)的混合溶剂组成。
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