[发明专利]一种投影物镜数值孔径测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201010022408.0 | 申请日： | 2010-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102116706A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 马明英;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种投影物镜数值孔径测量装置，包括：物面基底；物面基底入射光一侧具有散射元件，将入射光均匀散射在投影物镜；物面基底另一侧设计有针孔标记，针孔标记将入射光衍射经投影物镜成像在像面；投影物镜像面侧安装一移动台，该移动台可进行xy向高精度步进运动；以及移动台上安装探测器。测量方法包括如下步骤：根据投影物镜数值孔径设定值选择散射元件散射角；将掩模版上针孔标记移动到物面视场；将探测器移动到像面视场；采集光强分布图形；计算投影物镜数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 数值孔径 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种投影物镜数值孔径测量装置，其特征在于包括：物面基底；物面基底入射光一侧具有散射元件，将入射光均匀散射在投影物镜；物面基底另一侧设计有针孔标记，针孔标记将入射光衍射经投影物镜成像在像面；投影物镜像面侧安装一移动台，该移动台可进行xy向高精度步进运动；以及移动台上安装探测器。
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