[发明专利]金属蒸镀复合坩埚无效
| 申请号： | 201010022470.X | 申请日： | 2010-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102121093A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李诺;刘畅;余峰 | 申请（专利权）人： | 上海广电电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F27B14/10 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 201204 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属蒸镀复合坩埚，包括上端开口的坩埚容器，其特点是：坩埚容器的开口边上设有一个环状水平平台；环状水平平台外固定连接保温套筒，坩埚容器与保温套筒之间形成一个封闭空间，封闭空间内沿坩埚容器壁盘绕有加热丝，保温套筒底部设有一对环状泄流槽。本发明的坩埚通过增加一保温套筒，提高了坩埚的加热效率，在坩埚停止加热时套筒的保温作用防止金属凝结，从而延长坩埚容器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 复合 坩埚 | ||
【主权项】：
一种金属蒸镀复合坩埚，包括上端开口的坩埚容器，其特征在于：坩埚容器的开口边上设有一个环状水平平台；环状水平平台外固定连接保温套筒，坩埚容器与保温套筒之间形成一个封闭空间，封闭空间内沿坩埚容器壁盘绕有加热丝，保温套筒底部设有一对环状泄流槽。
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