[发明专利]一种一体式双频激光干涉仪有效
| 申请号： | 201010022988.3 | 申请日： | 2010-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102128588A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏飞;张志平;张晓文;任胜伟;池峰;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种一体式双频激光干涉仪，其主要包括：主偏振分光体，入射偏振分光体，出射偏振分光体。还进一步包括光程补偿板、二分之一波片、第一角锥棱镜、四分之一波片、第二角锥棱镜以及反射四分之一波片结构。本发明的参考光路和测量光路完全分离，理论上由干涉仪分光不彻底导致的非线性误差为零，本发明的参考光路和测量光路完全相等，理论上讲，其温度漂移为零，其有单光束输入，单光束输出，具备比较高的有效光学效率，并且适应目前的通用的激光干涉测量系统，其为一体式，相较于传统的分离式干涉仪，其具备很强的抗环境干扰能力，以及良好的工业现场适应能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 双频 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种一体式双频激光干涉仪，其特征在于，包括：主偏振分光体；入射偏振分光体，位于所述主偏振分光体外围，且与所述主偏振分光体相交于所述主偏振分光体的第一侧和第二侧；以及出射偏振分光体，位于所述入射偏振分光体外围并与所述入射偏振分光体相交；其中，在所述主偏振分光体与所述入射偏振分光体相交的所述第一侧上还设置有光程补偿板，在所述主偏振分光体与所述入射偏振分光体相交的所述第二侧还设置有二分之一波片，所述光程补偿板与所述二分之一波片光程相等，在所述主偏振分光体的第三侧上设置有第一角锥棱镜以及四分之一波片，所述主偏振分光体的所述第三侧是在所述入射偏振分光体的透射光方向上，在所述主偏振分光体的第四侧上设置有第二角锥棱镜以及反射四分之一波片结构，所述主偏振分光体的所述第四侧是在所述入射偏振分光体的反射光方向上。
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