[发明专利]一种熔石英光学损伤元件的修复方法无效
| 申请号： | 201010028095.X | 申请日： | 2010-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101781086A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 祖小涛;袁晓东;向霞;郑万国;郭袁俊;蒋晓东;王海军;李熙斌;黄进;吕海兵 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C03B29/00 | 分类号： | C03B29/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种熔石英光学损伤元件的修复方法，属于光学材料与光学元件技术领域，具体涉及一种熔石英光学元件激光损伤的修复处理方法。先采用红外二氧化碳激光对熔石英光学损伤元件的损伤部分进行激光熔融修复；再将激光熔融修复后的熔石英光学损伤元件进行退火处理。本发明可对熔石英光学损伤元件进行完全修复，并消除激光熔融修复过程带来的残余应力。经本发明修复后的熔石英光学元件可回复到理想熔石英光学元件状态；同时，本发明还可抑制熔石英光学元件损伤点的增长。本发明可延长熔石英光学元件的使用寿命，大大降低运行成本，具有工艺可控性强、重复性高且性能稳定的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 光学 损伤 元件 修复 方法 | ||
【主权项】：
一种熔石英光学损伤元件的修复方法，包括以下步骤：步骤1：采用红外二氧化碳激光对熔石英光学损伤元件的损伤部分进行激光熔融修复，具体过程为：采用红外二氧化碳激光对熔石英光学损伤元件的损伤部分进行脉冲式辐照，直到熔石英光学损伤元件的损伤部分完全熔融，然后自然冷却；步骤2：对经步骤1处理后的熔石英光学损伤元件进行退火处理，具体退火处理过程为：首先将经步骤1处理后的熔石英光学损伤元件放入石英保护盒中，在氧气氛条件下将熔石英光学损伤元件以10～20度/分钟的升温速度加热至600～900度，然后保温3～10小时，最后以10～40度/分钟的降温速度冷却至室温。
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