[发明专利]基于柔性测头的超精密原位测量装置及超精密加工方法有效
| 申请号： | 201010031317.3 | 申请日： | 2010-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN101797703A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;房丰洲;程颖 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B23Q17/24 | 分类号： | B23Q17/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量和加工技术领域，涉及一种基于柔性测头的超精密原位测量装置，包括柔性测头、传像光纤、耦接镜、高精密转台和光学三维测量系统，所述柔性测头被置于高精密转台上，其中心位于转台的旋转轴的轴线上，柔性测头采集的被测面图像，依次通过传像光纤、耦接镜被传送至光学三维测量系统。本发明同时提供一种利用该测量装置实现的超精密加工方法。本发明的测量装置，可以延长并缩减光学测量系统，并且能够实现大曲率面形的测量和超精密加工补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 精密 原位 测量 装置 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性测头的超精密原位测量装置，其特征在于，所述测量装置包括柔性测头、传像光纤、耦接镜、高精密转台和光学三维测量系统，所述柔性测头被置于高精密转台上，其中心位于转台的旋转轴的轴线上，柔性测头采集的被测面图像，依次通过传像光纤、耦接镜被传送至光学三维测量系统。
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