[发明专利]一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明公开了属于光学传感器和光电器件材料技术领域的一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法。本发明真空为10-4Pa量级条件下，在沉积温度：300℃～500℃下，在n-Si(100)基片上了依次沉积氧化铝层、钴层和掺杂铁的碳层，得到Fe-C/Co/Al2O3/Si异质结薄膜材料，其中，掺杂铁的碳层作为活性层，厚度为20～100纳米；氧化铝层为绝缘层，厚度为2～3纳米；钴层为过渡层，厚度为5～10纳米。所得产品在室温的白光或可见光波段下对可见光有响应，具有明显的光伏效应，在100mW/cm2的白光照射下，可产生0.15～0.30V的开路电压，或电流密度为2～4mA/cm2的短路电流。

主权项

一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料，其特征在于，在n型Si基片上依次设有氧化铝层、钴层和掺杂铁的碳层，形成具有白光光伏效应的Fe-C/Co/Al2O3/Si异质结薄膜材料，其中，所述掺杂铁的碳层为p型半导体，作为活性层，所述氧化铝层为绝缘层，所述钴层为过渡层。