[发明专利]一种高速倾斜镜谐振频率的测量方法

摘要

本发明公开了一种高速倾斜镜谐振频率的测量方法，高速倾斜镜包括有压电陶瓷及倾斜镜，有底座，底座上连接有支架，倾斜镜转动安装在支架上，压电陶瓷一端安装在底座上，另一端连接在倾斜镜上，有弹簧其两端分别连接在底座及倾斜镜上，有信号发生器通过高压放大电路与压电陶瓷电连接，有接收屏设置于述倾斜镜一侧的斜对面，接受屏正对面设置有高速CCD相机，采用激光器向所倾斜镜发射激光，倾斜镜将激光反射至接收屏上形成光斑，高速CCD相机采集反射至接收屏上的光斑信息。本发明采用高速CCD相机，简化了整个系统的光路结构。避免了使用四象限管时需要精确调整光路的所带来的麻烦，并解决了由于四象限管尺寸限制所带来的测量高速倾斜镜的谐振频率困难的问题。

主权项

一种高速倾斜镜谐振频率的测量方法，所述高速倾斜镜包括有压电陶瓷及倾斜镜，有底座，底座上连接有支架，所述倾斜镜转动安装在支架上，所述压电陶瓷一端安装在底座上，另一端连接在倾斜镜上，有弹簧其两端分别连接在所述底座及倾斜镜上，其特征在于：有接收屏设置于所述倾斜镜一侧的斜对面，所述接受屏正对面设置有高速CCD相机，采用激光器向所述倾斜镜发射激光，所述倾斜镜将激光反射至所述接收屏上形成光斑，所述高速CCD相机采集反射至接收屏上的光斑信息；信号发生器向所述压电陶瓷施加一定频率范围的扫描电压信号，在所述电压频率变化范围内，压电陶瓷被施加电压，压电陶瓷长度变长，推动倾斜镜转动，当压电陶瓷电压释放时，压电陶瓷长度变短，弹簧将倾斜镜拉回，倾斜镜随着压电陶瓷上所施加的电压变化而振动；激光器向倾斜镜发出激光，被倾斜镜反射至接收屏形成光斑，光斑随着倾斜镜的振动而振动；当压电陶瓷上所施加的电压频率与倾斜镜的谐振频率相同时，倾斜镜产生共振，倾斜镜的振幅达到最大，光斑振动的振幅相应达到最大；高速CCD相机采集光斑信息，作出高速CCD相机采集到的光斑振动的幅频特性曲线，曲线中对应光斑振动振幅最大的频率即为倾斜镜的谐振频率。