[发明专利]大型高真空抽气机组有效
| 申请号： | 201010100309.X | 申请日： | 2010-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101776063A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 储继国 | 申请（专利权）人： | 储继国 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B37/14 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于抽真空领域，本发明采用牵引分子泵、电弧钛泵、粗抽泵和前级泵组成新的抽气机组，优势互补，实现取代现有的扩散泵+罗茨泵+粗抽泵组成的抽气机组的目的，与现有的抽气机组相比较，本发明可节省抽气能耗60～90％，消除真空室的油蒸汽污染，显著提高真空产品的质量，本发明的性价比约为传统高真空抽气机组的2～3倍，本发明的抽气机组的钛材蒸散速率可以精确控制，钛材利用率高，钛材可以回收，本发明的粗抽泵的运行时间很短，一台粗抽泵可以供多个高真空抽气机组共用，节省设备费用和占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 真空 抽气机 | ||
【主权项】：
一种大型高真空抽气机组，包括真空室，所述真空室连接有粗抽泵，其特征在于：所述真空室还分别连接有牵引分子泵和电弧钛泵。
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