[发明专利]自含氢氧化四烷铵的废液回收及纯化氢氧化四烷铵的方法

摘要

本发明关于一种自含有氢氧化四烷基铵的废液回收及纯化氢氧化四烷基铵的方法，包括下列步骤：以酸将该废液中所含的氢氧化四烷基铵转换为四烷基铵的酸盐，接着以纳米过滤膜(NF膜)分离装置过滤经转换的废液，去除高价金属及光阻剂等不纯物，得到主要包含四烷基铵的酸盐的渗透液，同时于纳米滤薄膜分离装置的浓缩侧添加水，利用膜表面产生Donnan效应增加四烷基铵的酸盐通过过滤膜的速度，进而增加四烷基铵的酸盐回收率及效率，最后经由电解将四烷基铵的酸盐转化成氢氧化四烷基铵并回收。

主权项

一种自含有氢氧化四烷基铵的废液回收及纯化氢氧化四烷基铵的方法，该废液至少包含氢氧化四烷基铵及光阻剂等杂质，该方法至少包括下列步骤：(1)藉由酸使该废液中的氢氧化四烷基铵转换成四烷基铵的酸盐，形成含四烷基铵的酸盐的显影废液；(2)使该含四烷基铵的废液通过具有纳米过滤膜的分离装置，于该纳米过滤膜的浓缩侧获得含光阻剂及其他杂质的浓缩液及于该纳米过滤膜的渗透侧含有四烷基铵的酸盐的渗透液；(3)持续进行步骤(2)的该过滤分离步骤，于浓缩端侧所侦测电导度值至大于20000μs/cm以上时，于该分离装置的过滤膜浓缩侧添加纯水继续进行过滤直至渗透液侧的渗透液体积达最初处理废液体积的90体积％以上；及(4)收集渗透液并进行电解，使该渗透液内所含的四烷基铵的酸盐转换成氢氧化四烷铵碱盐并予以回收。