[发明专利]一种流动层析结晶法制备高纯磷酸的方法有效

专利信息
申请号: 201010100473.0 申请日: 2010-01-25
公开(公告)号: CN101759167A 公开(公告)日: 2010-06-30
发明(设计)人: 梁雪松;梅毅;杨亚斌;肖勇;李德高;赵海燕;吴立群;王汝春 申请(专利权)人: 云南省化工研究院
主分类号: C01B25/234 分类号: C01B25/234
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 张媛德;范严生
地址: 650228 云南省昆*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 一种流动层析结晶法制备高纯磷酸的方法涉及高纯磷酸制备技术,尤其是用工业磷酸制取高纯磷酸的生产方法,本发明包括以下步骤:(1)用于结晶的原料磷酸经0.1-0.5μm的膜过滤后备用;(2)在结晶器中充满磷酸,保持磷酸温度为12-20℃,将磷酸晶种加入结晶器中静置1-20min,或用频率20-40KHz的外加声场作用于静置磷酸10-30min;(3)在磷酸恒温槽中使磷酸温度保持在12-20℃,用泵打入结晶器开始循环,在-15~2℃的结晶温度下让晶层生长1-2小时,将原料磷酸从结晶器中放出;(4)在0-25℃的结晶器温度下让磷酸晶层熔化蒸馏,蒸馏液排出量为晶层质量的40-50%;(5)用雾状超纯水清洗晶层表面;(6)在35-55℃的条件下融化清洗后的磷酸晶层,用超纯水稀释后得到高纯磷酸产品。通过本发明所述方法获得的高纯磷酸产品,可满足芯片湿法清洗和湿法蚀刻、晶圆硅片表面清洗、光纤玻璃生产等领域使用。
搜索关键词: 一种 流动 层析 结晶 法制 高纯 磷酸 方法
【主权项】:
一种流动层析结晶法制备高纯磷酸的方法,包括以下步骤:(1)用于结晶的原料磷酸经0.1-0.5μm的膜过滤后备用;(2)在结晶器中充满磷酸,保持磷酸温度为12-20℃,将磷酸晶种加入结晶器中静置1-20min,或用频率20-40KHz的外加声场作用于静置磷酸10-30min;(3)在磷酸恒温槽中使磷酸温度保持在12-20℃,用泵打入结晶器开始循环,在-15--2℃的结晶温度下让晶层生长1-2小时,将原料磷酸从结晶器中放出;(4)在0-25℃的结晶器温度下让磷酸晶层熔化蒸馏,蒸馏液排出量为晶层质量的40-50%;(5)用雾状超纯水清洗晶层表面;(6)在35-55℃的条件下融化清洗后的磷酸晶层,用超纯水稀释后得到高纯磷酸产品。
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