[发明专利]基于硅基电容式微麦克风的微电机械镜运动反馈控制系统无效
| 申请号： | 201010102162.8 | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN101778325A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王怀宝;金湘虹 | 申请（专利权）人： | 无锡职业技术学院 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;G05B19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214121江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于硅基电容式微麦克风的微电机械镜运动反馈控制系统，微电机械微镜经硅微麦克风采集信息后传输给中央处理器采集处理，中央处理器根据硅微麦克风传回信息调整微镜驱动电路所应施加的驱动信号的频率、幅度、相位，微镜驱动电路用来驱动微电机械微镜的运动，硅微麦克风数据采集系统通过前置放大器、模数转换电路等将微麦克风信号传递到中央处理器，根据应用的不同，光源控制系统或光感知控制系统根据微电机械微镜的转动角度调整光束或采样，微镜驱动电路根据反馈信号调整微电机械微镜的工作频率和振动幅度大小，具有系统体积小、集成度高、设计成本低、且对微电机械微镜运动不形成干扰等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电容 式微 麦克风 微电机 运动 反馈 控制系统 | ||
【主权项】：
基于硅基电容式微麦克风的微电机械镜运动反馈控制系统，由微电机械微镜、硅微麦克风、微镜驱动电路、中央处理器组成，其特征在于：微电机械微镜经硅微麦克风采集信息后传输给中央处理器采集处理，中央处理器根据硅微麦克风传回信息调整微镜驱动电路所应施加的驱动信号的频率、幅度、相位，微镜驱动电路用来驱动微电机械微镜的运动。
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