[发明专利]共享字线的无触点分栅式闪存

摘要

本发明提出一种共享字线的无触点分栅式闪存，包括：半导体衬底，其上具有间隔设置的源极区域和漏极区域；沟道区，位于源极区域和漏极区域之间；第一位线和第二位线，分别连接于源极区域和漏极区域；第一浮栅和第二浮栅，分别设置于沟道区和源极区域或漏极区域上方，第一浮栅和第二浮栅分别构成第一存储位单元和第二存储位单元；第一控制栅和第二控制栅，分别设置于第一浮栅和第二浮栅上方；字线，位于沟道区上方并位于第一浮栅和第二浮栅之间，字线两侧具有弧形结构延伸至第一位线和第二位线上方，并通过绝缘层与第一位线和第二位线顶部相连接。本发明提出一种共享字线的无触点分栅式闪存，有效地缩小芯片的面积，同时也可以避免过擦除的问题。

主权项

一种共享字线的无触点分栅式闪存，其特征在于，包括：半导体衬底，其上具有间隔设置的源极区域和漏极区域；沟道区，位于所述源极区域和漏极区域之间；第一位线和第二位线，分别连接于所述源极区域和漏极区域；第一浮栅，设置于所述沟道区和源极区域上方；第二浮栅，设置于所述沟道区和漏极区域上方，所述第一浮栅和第二浮栅分别构成第一存储位单元和第二存储位单元；第一控制栅和第二控制栅，分别设置于所述第一浮栅和第二浮栅上方；字线，位于所述沟道区上方并位于所述第一浮栅和第二浮栅之间，所述字线两侧具有弧形结构延伸至所述第一位线和第二位线上方，并通过绝缘层与所述第一位线和第二位线顶部相连接。