[发明专利]薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测方法及实施装置

摘要

本发明涉及图像处理、微纳观结构的力学检测和实验力学，具体讲涉及薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测方法。本发明的目的在于提供一种用于检测脱沾屈曲边界的扩展过程的技术方案，本发明采用的技术方案是，薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测方法及实施装置，包括、光学显微系统、图像采集装置、输入端、存储装置和处理器，处理器：用于在程序控制下处理表示图像的数据集，从而通过操作来确定该图像中的薄膜/基底结构中的脱沾屈曲破坏的边界以及边界的扩展，输出端：用于显示脱沾屈曲破坏边缘扩展的检测结果。本发明主要应用于微纳观结构的力学检测。

主权项

一种薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测实施装置，其特征是，包括：：光学显微系统：对薄膜/基底结构中的脱沾屈曲破坏进行光学放大；图像采集装置：将二维的亮度信号转化为表示各个象素亮度的电信号的装置；输入端：用于接收表示所采集图像的各元素值的数据元素集；存储装置：用于存储表示图像的数据集；处理器：用于在程序控制下处理表示图像的数据集，从而通过如下操作来确定该图像中的薄膜/基底结构中的脱沾屈曲破坏的边界以及边界的扩展：对不同载荷下采集到的图像做边缘检测，从而得到不同载荷下的脱沾屈曲的边界；求出不同载荷下图像之间的相对位移，利用计算结果对原始图像做移动补偿；对比移动补偿后的图像中的脱沾屈曲边界，确定边界的扩展情况；输出端：用于显示脱沾屈曲破坏边缘扩展的检测结果。