[发明专利]基于两组亚波长光栅的光学微位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于两组亚波长光栅光学微位移传感器。它主要包括以下部件：第一亚波长光栅层、第二亚波长光栅层、第一光电探测管、第二光电倍增管、压电陶瓷等组成。光从带有准直扩束透镜组的激光光源发出，通过分光棱镜产生两路激光，一路激光通过第一聚焦透镜组，照射到第二光电探测器上，另一路激光通过分光棱镜，第一圆孔、第二圆孔、至第一玻璃基底、第一亚波长光栅层、第二亚波长光栅层、第二玻璃基板；反射光通过第二圆孔、第一圆孔、分光棱镜、第一聚焦透镜组、由第一光电探测器接收。本发明大大缩小了系统的体积，能够精确对位移进行探测。在运动物体位移、厚度、距离等精确探测上具有很广泛的应用前景。

主权项

一种基于两组亚波长光栅的光学微位移传感器，其特征在于包括基板(1)、第一光电探测器(2)、第一聚焦透镜组(3)、分光棱镜(4)、带有准直扩束透镜组的激光光源(5)、T字型玻璃基板(6)、第一圆孔(7)、第二聚焦透镜组(8)、第二光电探测器(9)、光电探测器固定底座(10)、压电陶瓷(11)、第二圆孔(12)、第一玻璃基板(13)、第一亚波长光栅层(14)、第二亚波长光栅层(15)、第二玻璃基板(16)；T字型玻璃基板(6)的一侧设有基板(1)、第一光电探测器(2)、第一聚焦透镜组(3)，第一光电探测器(2)、第一聚焦透镜组(3)经过组合后固定在基板(1)上，T字型玻璃基板(6)上的一侧从下到上依次设有带有准直扩束透镜组的激光光源(5)、分光棱镜(4)、第二聚焦透镜组(8)、第二光电探测器(9)、光电探测器固定底座(10)，第二聚焦透镜组(8)与第二光电探测器(9)组合后固定在光电探测器固定底座(10)上，T字型玻璃基板(6)内设有第一圆孔(7)，T字型玻璃基板(6)上的另一侧从左至右依次设有压电陶瓷(11)、第二圆孔(12)、第一玻璃基板(13)、第一亚波长光栅层(14)，压电陶瓷(11)内设有第二圆孔(12)，第一亚波长光栅层(14)的右侧有第二亚波长光栅层(15)、第二玻璃基板(16)，第二亚波长光栅层(15)设在第二玻璃基板(16)左侧；光从带有准直扩束透镜组的激光光源(5)发出，通过分光棱镜(4)产生两路激光，一路激光通过第一聚焦透镜组(3)，照射到第二光电探测器(9)上，另一路激光通过分光棱镜(4)，第一圆孔(7)、第二圆孔(12)、至第一玻璃基底(13)、第一亚波长光栅层(14)、第二亚波长光栅层(15)、第二玻璃基板(16)；在第一亚波长光栅层(14)上产生的反射光通过第二圆孔(12)、第一圆孔(7)、分光棱镜(4)、第一聚焦透镜组(3)、由第一光电探测器(2)接收。