[发明专利]基于两组亚波长光栅的光学微位移传感器无效
申请号: | 201010104140.5 | 申请日: | 2010-01-26 |
公开(公告)号: | CN101788267A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 曾旭;侯昌伦 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 张法高 |
地址: | 310027*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于两组亚波长光栅光学微位移传感器。它主要包括以下部件:第一亚波长光栅层、第二亚波长光栅层、第一光电探测管、第二光电倍增管、压电陶瓷等组成。光从带有准直扩束透镜组的激光光源发出,通过分光棱镜产生两路激光,一路激光通过第一聚焦透镜组,照射到第二光电探测器上,另一路激光通过分光棱镜,第一圆孔、第二圆孔、至第一玻璃基底、第一亚波长光栅层、第二亚波长光栅层、第二玻璃基板;反射光通过第二圆孔、第一圆孔、分光棱镜、第一聚焦透镜组、由第一光电探测器接收。本发明大大缩小了系统的体积,能够精确对位移进行探测。在运动物体位移、厚度、距离等精确探测上具有很广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 基于 两组亚 波长 光栅 光学 位移 传感器 | ||
【主权项】:
一种基于两组亚波长光栅的光学微位移传感器,其特征在于包括基板(1)、第一光电探测器(2)、第一聚焦透镜组(3)、分光棱镜(4)、带有准直扩束透镜组的激光光源(5)、T字型玻璃基板(6)、第一圆孔(7)、第二聚焦透镜组(8)、第二光电探测器(9)、光电探测器固定底座(10)、压电陶瓷(11)、第二圆孔(12)、第一玻璃基板(13)、第一亚波长光栅层(14)、第二亚波长光栅层(15)、第二玻璃基板(16);T字型玻璃基板(6)的一侧设有基板(1)、第一光电探测器(2)、第一聚焦透镜组(3),第一光电探测器(2)、第一聚焦透镜组(3)经过组合后固定在基板(1)上,T字型玻璃基板(6)上的一侧从下到上依次设有带有准直扩束透镜组的激光光源(5)、分光棱镜(4)、第二聚焦透镜组(8)、第二光电探测器(9)、光电探测器固定底座(10),第二聚焦透镜组(8)与第二光电探测器(9)组合后固定在光电探测器固定底座(10)上,T字型玻璃基板(6)内设有第一圆孔(7),T字型玻璃基板(6)上的另一侧从左至右依次设有压电陶瓷(11)、第二圆孔(12)、第一玻璃基板(13)、第一亚波长光栅层(14),压电陶瓷(11)内设有第二圆孔(12),第一亚波长光栅层(14)的右侧有第二亚波长光栅层(15)、第二玻璃基板(16),第二亚波长光栅层(15)设在第二玻璃基板(16)左侧;光从带有准直扩束透镜组的激光光源(5)发出,通过分光棱镜(4)产生两路激光,一路激光通过第一聚焦透镜组(3),照射到第二光电探测器(9)上,另一路激光通过分光棱镜(4),第一圆孔(7)、第二圆孔(12)、至第一玻璃基底(13)、第一亚波长光栅层(14)、第二亚波长光栅层(15)、第二玻璃基板(16);在第一亚波长光栅层(14)上产生的反射光通过第二圆孔(12)、第一圆孔(7)、分光棱镜(4)、第一聚焦透镜组(3)、由第一光电探测器(2)接收。
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