[发明专利]一种新型场发射器件支撑体结构无效
申请号: | 201010106320.7 | 申请日: | 2010-02-02 |
公开(公告)号: | CN101777474A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 雷威;张晓兵;陈静;娄朝刚;王保平 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01J29/86 | 分类号: | H01J29/86;H01J31/12;H01J29/02 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210009江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种场发射器件支撑体结构,在金属基板(1)上制备阵列贯穿通道(2);在金属基板(1)上表面设置上阵列介质支撑柱(3);在金属基板(1)下表面同样设置下阵列介质支撑柱(4),上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)的位置相对应;上阵列介质支撑柱(3)、金属基板(1)接触部分设置粘结剂,下阵列介质支撑柱(4)和金属基板(1)接触部分也设置粘结剂,通过粘结剂高温烧结使金属基板(1)、上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)形成一个整体;形成整体的金属基板和支撑体放置于阳极基板(5)和阴极基板(6)之间,通过封接排气,形成器件内的真空环境。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 发射 器件 支撑 结构 | ||
【主权项】:
一种场发射器件支撑体结构,其特征是在金属基板(1)上制备阵列贯穿通道(2);在金属基板(1)上表面设置上阵列介质支撑柱(3);在金属基板(1)下表面同样设置下阵列介质支撑柱(4),上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)的位置相对应;上阵列介质支撑柱(3)、金属基板(1)接触部分设置粘结剂,下阵列介质支撑柱(4)和金属基板(1)接触部分也设置粘结剂,通过粘结剂高温烧结使金属基板(1)、上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)形成一个整体;形成整体的金属基板和支撑体放置于阳极基板(5)和阴极基板(6)之间,通过封接排气,形成器件内的真空环境。
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