[发明专利]基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法有效
| 申请号： | 201010106887.4 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101769898A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 戎华;赵彩峰 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 210046江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是：制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用径向振动和横向振动的谐振频率计算MEMS薄膜泊松比。本发明方法，无需预先知道薄膜杨氏模量及材料密度等的具体值，避免了因杨氏模量及材料密度等引起的误差，有利于精度的提高。由于圆环薄膜结构的对称性，锚区更接近理想固支。属于非接触式测量，测量过程不会对测试结构产生影响，可以保证测量的重复性。对于导体和非导体本方法均适用。测试结构制作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振 频率 mems 薄膜 泊松比 在线 测量方法 | ||
【主权项】：
基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是：制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用下式计算MEMS薄膜泊松比： ( - 0.5894 * V 2 + 2.3321 * v + 12.3780 ) * h * f 1 - 2 * 3 * a * ( - 0.1405 * v 2 + 0.7444 * v + 2.9728 ) * f 2 = 0 .
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