[发明专利]固态成像装置、其制造方法、其驱动方法和电子设备

摘要

本发明提供一种固态成像装置、其制造方法、其驱动方法和电子设备。该固态成像装置包括：衬底；衬底电压源，在光接收阶段，将第一电势施加到衬底，在非光接收阶段，将第二电势施加到衬底；和多个像素，每个像素包括：光接收器，形成于衬底的前表面上，并且根据接收的光产生信号电荷；存储电容器，邻近光接收器形成，并且累积和存储当第一电势施加到衬底时由光接收器所生成并被输送的信号电荷；暗电流抑制器，形成于光接收器和存储电容器中；电子快门调节层，在衬底中形成于面对光接收器并且远离存储电容器的区域中，电子快门调节层调节衬底的电势分布；和浮动扩散部分，存储电容器中的累积的信号电荷被输送到浮动扩散部分。

主权项

一种固态成像装置，包括：衬底；衬底电压源，在光接收阶段，将第一电势施加到所述衬底，在非光接收阶段，将第二电势施加到所述衬底；以及多个像素，每个像素包括：光接收器，形成于所述衬底的前表面上，并且根据所接收的光产生信号电荷；存储电容器，邻近所述光接收器形成，并且累积和存储当所述第一电势施加到所述衬底时由所述光接收器生成并被输送的所述信号电荷；暗电流抑制器，形成于所述光接收器和所述存储电容器中；电子快门调节层，在所述衬底中形成于面对所述光接收器并且与所述存储电容器偏离预定的偏移区域的区域中，所述电子快门调节层调节所述衬底的电势分布，使得在所述第二电势施加到所述衬底时所述光接收器中产生的所述信号电荷被清扫到所述衬底的背面侧；以及浮动扩散部分，在所述存储电容器中累积的所述信号电荷被输送到所述浮动扩散部分。