[发明专利]可分立变焦的液体透镜阵列制作方法

摘要

本发明涉及一种可分立变焦的液体透镜阵列及其制作方法，透镜阵列的玻璃基板镀有一层透明导电膜作为第一电极，通过光刻使其成分立的带有引脚的网孔状分布；在其上涂覆一层疏水性绝缘介质，在绝缘介质上制作与第一电极形状对应的网孔分布，露出其下的第一电极；在孔中注入不易挥发性绝缘液体，在液体上沉积一层透明派瑞林弹性薄膜，液体封装在一个封闭空间内；在派瑞林薄膜上再镀一层透明导电膜作为第二电极。本发明的液体透镜阵列结构紧凑，变焦范围广、效率高，填充液体可选范围广，采用电控，且易于阵列化制作，阵列中的各透镜单元可分立变焦，制作方法简单、高效。该种器件在高分辨率、大视场、大景深以及立体成像等方面都可有广泛应用。

主权项

一种可分立变焦的液体透镜阵列，其特征在于：所述透镜阵列的玻璃基板(21)上镀有一层透明导电膜作为第一电极(22)，并通过光刻的方法使其成分立的带有引脚的网孔状分布，在其上涂覆一层疏水性绝缘介质(23)，在绝缘介质上制作有与第一电极的形状相对应的网孔状分布，并露出其下的透明导电膜，在孔中注入不易挥发性绝缘液体(24)，并在液体(24)上沉积一层透明的派瑞林弹性薄膜(25)，液体(24)封装在一个封闭的空间内，在派瑞林薄膜(25)之上再镀有一层透明导电膜(26)作为第二电极。