[发明专利]抛光头联动装置

摘要

本发明涉及一种抛光头联动装置，它包括翻转机构、升降机构、旋转机构和压力控制机构，其中，翻转机构、升降机构和压力控制机构以气缸为动力，旋转机构以电机为动力。本发明所提供的抛光头联动装置在工作过程中，可根据要求完成翻转、锁紧、升降和旋转动作，其结构简单、紧凑；由于在本装置中采用了翻转和锁紧机构，不仅使得上下料操作及晶片的清洗方便易行，而且工作可靠。另外，通过控制微动压力气缸的压力可通过花键轴对承载器实施精确的压力控制，这样有利于提高本装置的抛光质量。

主权项

一种抛光头联动装置，其特征是它包括翻转机构、升降机构、旋转机构和压力控制机构，其中，翻转机构中的底板(38)与底座(35)间设有两个前立柱(28)和两个后立柱(60)，底板(38)后侧与后立柱(60)铰接，前侧与前立柱(28)搭接，且底板(38)与两个前立柱(28)间各设有一个锁紧气缸(24)，一对翻转气缸(40)对称布置在底板(38)的左右两侧，并分别铰接在底板(38)和底座(35)之间；升降机构中的花键轴(36)设有上下两个与之动配合的花键套，其中，上花键套(14)与上花键套座(15)动配合，上花键套座(15)与升降架固定，升降架上的滑块(46)与导轨(45)滑动配合，导轨(45)与底板(38)固定，升降气缸(42)设于升降架与底板(38)之间，下花键套(20)与下花键套座(22)动配合，下花键套座(22)与底板(38)固定；压力控制机构中的压力气缸(5)设螺杆(3)支撑并固定在升降架的上部，压力气缸活塞杆(6)与一连接座(9)固定，连接座(9)与花键轴(36)上端所设的轴承座(13)固定，轴承座(13)上固定有一小滑块(50)，小滑块(50)与小导轨(1)滑动配合，小导轨(1)与升降架固定；旋转机构中的电机(7)与下花键套(20)间为带传动。