[发明专利]电荷检测装置及方法、固态成像装置及其驱动方法以及成像装置

摘要

本发明涉及一种电荷检测装置和电荷检测方法、固态成像装置及其驱动方法、以及成像装置。该电荷检测装置包括：基板，具有第一导电型的预定区域；第二导电型漏极区域，设置在基板的预定区域中；第二导电型源极区域，设置在基板的预定区域中；第二导电型沟道区域，设置在漏极区域和源极区域之间；栅极，经由在沟道区域上的绝缘膜形成；第二导电型电荷累积区域，设置在基板的预定区域中并且通过累积作为测量目标的信号电荷来改变具有漏极区域、源极区域以及栅极的晶体管的阈值电压；第一导电型沟道势垒区域，设置在沟道区域和电荷累积区域之间；以及电荷清除区域，清除在电荷累积区域中所累积的信号电荷。

主权项

一种电荷检测装置，包括：基板，具有第一导电型的预定区域；第二导电型的漏极区域，设置在所述基板的所述预定区域中；第二导电型的源极区域，设置在所述基板的所述预定区域中；第二导电型的沟道区域，设置在所述漏极区域和所述源极区域之间；栅极，经由所述沟道区域上的绝缘膜形成；第二导电型的电荷累积区域，设置在所述基板的所述预定区域中，并且通过累积作为测量目标的信号电荷来改变具有所述漏极区域、所述源极区域以及所述栅极的晶体管的阈值电压：第一导电型的沟道势垒区域，设置在所述沟道区域和所述电荷累积区域之间；以及电荷清除区域，清除在所述电荷累积区域中所累积的信号电荷。