[发明专利]一种三氯氢硅尾气变压吸附设备及其工艺无效
| 申请号： | 201010112675.7 | 申请日： | 2010-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN101757831A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李法曾;杨秀玲;丁培杰;宋宝东;苗乃芬;李法山;王建民;杨国堂 | 申请（专利权）人： | 山东新龙硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/047 | 分类号： | B01D53/047;C01B33/107;C01B33/03 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 李江 |
| 地址： | 262700 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三氯氢硅尾气变压吸附设备及其工艺，吸附设备包括解析气换热器，所述解析气换热器上设有原料气进气管和出气管，在出气管上连接有吸附装置，吸附工艺包括以下步骤，原料尾气首先进入解析气换热器，换热后进入加热器加热后温度控制在70℃±2℃，然后再进入吸附装置进行吸附，吸附后的净化氢气由净化气管道出来，由管道送至HCL合成系统重新参加HCL合成，吸附后的解吸气通过解析气管道进入解析气换热器，换热后，进入解析气缓冲罐，由压缩机送至三氯氢硅合成系统中，重新回收利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 尾气 变压 吸附 设备 及其 工艺 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅尾气变压吸附设备，包括解析气换热器(1)，所述解析气换热器(1)连通有原料气进气管(11)和出气管(12)，其特征在于：在出气管(12)上连通有吸附装置。
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